1、樣品要盡可能干燥，含有水分或其他易揮發(fā)物的試樣應(yīng)先烘干除去；若樣品中含有水份，水分揮發(fā)會構(gòu)成倉內(nèi)真空度急劇下降，導(dǎo)致圖畫漂移，有白色條紋，甚至?xí)绊憻艚z壽數(shù)；

 

　　2、熱穩(wěn)定性好，熱穩(wěn)定性差的樣品往往在電子束的轟擊下分解，釋放氣體和其他物質(zhì)，污染光片掃描顯微鏡；

 

　　3、導(dǎo)電性好，導(dǎo)電性差的樣品會發(fā)生荷電效應(yīng)，構(gòu)成圖畫畸變，亮點(diǎn)亮線，像散等；

 

　　4、不含強(qiáng)磁性，強(qiáng)磁性的樣品觀察一般會出現(xiàn)嚴(yán)重的像散，無法消去，磁性粉末如果粘的不結(jié)實(shí)還可能會吸附到探頭上，損害電鏡。（當(dāng)然現(xiàn)在很多實(shí)驗(yàn)室都可以做磁性樣品的光片掃描顯微鏡，比如鑠思百檢測可以做磁性樣品的SEM）。

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　　5、試樣(外表)導(dǎo)電的固體，試樣可以是塊狀或粉未狀。不導(dǎo)電的試樣，要先進(jìn)行鍍膜處理，在材料外表構(gòu)成一層導(dǎo)電膜。

 

　　關(guān)于塊狀導(dǎo)電材料，除了巨細(xì)要合適儀器樣品座尺度外，基本上不需要進(jìn)行什么制備，用導(dǎo)電膠把試樣粘結(jié)在樣品座上，即可放在掃描電鏡中觀察。

 

　　關(guān)于塊狀的非導(dǎo)電或?qū)щ娦暂^差的材料，要先進(jìn)行鍍膜處理，在材料外表構(gòu)成一層導(dǎo)電膜，以避免在電子束照射下發(fā)生電荷積累，影響圖畫質(zhì)量，并可避免試樣的熱損傷。

 

　　6、試樣在高真空中能保持穩(wěn)定，

 

　　7、外表遭到污染的試樣，要在不破壞試樣外表結(jié)構(gòu)的前提下進(jìn)行恰當(dāng)清洗，然后烘干。新斷開的斷口或斷面，一般不需要進(jìn)行處理，避免破壞斷口或斷面的結(jié)構(gòu)狀態(tài)。

 

　　有些試樣的外表、斷口需要進(jìn)行恰當(dāng)?shù)母g，才干暴露某些結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié)，則在腐蝕后應(yīng)將外表或斷口清洗潔凈，然后烘干。

 

　　8、試樣巨細(xì)要合適光片掃描顯微鏡專用樣品座的尺度，不能過大，樣品座尺度各儀器不均相同，一般小的樣品座為的0~35mm，大的樣品座為30~50mm，以分別用來放置不同巨細(xì)的試樣，樣品的高度也有一定的約束，一般小于10mm左右。